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微电子机械系统 by 姜岩峰编著, 姜岩峰编著, 姜岩峰 is a book available to read on EtoBox.

What is 微电子机械系统 about?

1 (p0-1): 目录 1 (p0-2): 第1章 MEMS系统简介 1 (p0-3): 1.1 MEMS技术现状及前景 1 (p0-4): 1.1.1 MEMS的基本概念与发展历史 5 (p0-5): 1.1.2 MEMS的应用 7 (p0-6): 1.1.3 MEMS技术和器件的研究进展 9 (p0-7): 1.2 MEMS器件及系统的研究进展 12 (p0-8): 1.3 MEMS技术的应用前景 14 (p0-9): 第2章 微机电系统(MEMS)相关力学知识及测量力学量的方法 14 (p0-10): 2.1 弹性力学基础知识 19 (p0-11): 2.2.1 简介 19 (p0-12): 2.2 微结构机械参数测量方法 20 (p0-13): 2.2.2 在线监测薄膜机械参数的方法列举 22 (p0-14): 2.2.3 微机械材料特性检测 40 (p0-15): 参考文献 43 (p0-16): 第3章 微机电系统(MEMS)主要工艺 43 (p0-17): 3.1 体硅加工工艺 44 (p0-18): 3.1.1 腐蚀工艺 45 (p0-19): 3.1.2 湿法腐蚀 49 (p0-20): 3.1.3 干法腐蚀 51 (p0-21): 3.2 硅片键合工艺 51 (p0-22): 3.2.1 简介 52 (p0-23): 3.2.2 硅熔融键合(SFB) 58 (p0-24): 3.2.3 阳极键合 61 (p0-25): 5.5.4 磁致伸缩微执行器 1 64 (p0-26): 3.2.4 低温键合 65 (p0-27): 3.2.5 键合工艺应用举例 70 (p0-28): 3.3 LIGA技术 70 (p0-29): 3.3.1 LIGA技术基本原理 71 (p0-30): 3.3.2 活动结构制作原理 72 (p0-31): 3.3.3 复杂的三维结构的制作原理 73 (p0-32): 3.3.4 技术要求 74 (p0-33): 3.3.5 LIGA技术研究现状 75 (p0-34): 3.3.6 准LIGA技术 77 (p0-35): 3.3.7 LIGA技术在工程中的应用 80 (p0-36): 参考文献 82 (p0-37): 第4章 传感器部分 82 (p0-38): 4.1 传感器的分类、构成与发展动向 82 (p0-39): 4.1.1 基本概念 82 (p0-40): 4.1.2 传感器的分类 83 (p0-41): 4.1.3 传感器的构成 84 (p0-42): 4.2 传感器材料 84 (p0-43): 4.2.1 传感器敏感材料 86 (p0-44): 4.2.2 仿生材料 88 (p0-45): 4.3.1 加速度微传感器 88 (p0-46): 4.3 硅电容式微传感器 91 (p0-47): 4.3.2

Author

姜岩峰编著, 姜岩峰编著, 姜岩峰

Publisher

北京:化学工业出版社

Published

2006

Language

ZH

ISBN

9787502581589