Can I read Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: учебное пособие on EtoBox?

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: учебное пособие by Родионов, Юрий Анатольевич is a nonfiction available to read on EtoBox.

What is Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: учебное пособие about?

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Who reads Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: учебное пособие?

Author

Родионов, Юрий Анатольевич

Publisher

ЭБС Лань

Published

2022

Language

RU

ISBN

9785811495665

Category

nonfiction