Skip to content

Opening book details…

Can I read Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: Учебное пособие для вузов on EtoBox?

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: Учебное пособие для вузов by Родионов Ю. А. is a nonfiction available to read on EtoBox.

What is Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: Учебное пособие для вузов about?

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Who reads Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем: Учебное пособие для вузов?

It is typically read by self-directed learners exploring a subject in depth.

Common subject areas: history, science, philosophy, social sciences.

Author
Родионов Ю. А.
Publisher
ЭБС Лань
Published
2023
Language
RU
Category
nonfiction

More by Родионов Ю. А.

Browse all works by Родионов Ю. А.

Similar books