Can I read Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" on EtoBox?

Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" by Д. Г. Громов; М-во образования и науки Российской Федерации, Московский гос. ин-т электронной техники (технический ун-т) is a nonfiction available to read on EtoBox.

What is Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" about?

Учебное пособие. — М.: МИЭТ, 2011. — 204 с. Рассмотрены с физико-химических позиций развитие систем металлизации кремниевых интегральных схем, выбор материалов функциональных слоев металлизации и процессы формирования элементов металлизации. Приведены закономерности взаимодействия в различных силицидообразующих системах металл - кремний и особенности формирования силицидных контактных слоев; принципы выбора материалов диффузионно-барьерных слоев; различные физико-химические методы заполнения узких траншей и контактных колодцев проводящим материалом для создания межсоединений посредством технологии «Damascene». Разработано для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 Электроника и наноэлектроника, соответствующей тематическому направлению деятельности ННС Наноэлектроника. Для студентов, изучающих дисциплину Металлизация в системах с наноразмерными элементами, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных микросхем.

Who reads Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"?

Author

Д. Г. Громов; М-во образования и науки Российской Федерации, Московский гос. ин-т электронной техники (технический ун-т)

Publisher

МИЭТ

Published

2011

Language

RU

ISBN

9785725606485

Category

nonfiction

Subjects

Technology, Nanotechnology, Stem