Can I read Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" on EtoBox?

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" by Голишников А.А., Путря М.Г. is a nonfiction available to read on EtoBox.

What is Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" about?

М.: МИЭТ, 2011. — 172 с. — ISBN 978-5-7256-0656-0 Рассмотрены применение плазменных процессов в производстве изделий микро- и наноэлектроники, технологические проблемы их использования при изготовлении ИС, тенденции развития плазменной технологии. Представлены современные системы высокоплотной плазмы. Приведены основные понятия процесса плазменного травления и его технологические параметры. Описаны процессы плазменного травления различных функциональных слоев и их особенности. Проведена классификация активируемых плазмой методов получения тонких пленок. Дано описание технологии ионно-плазменного легирования на примерах ионно-плазменной имплантации бора, мышьяка и фосфора Проведено сравнение методов ионно-плазменной и ионно-пучковой имплантаций Разработано для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника». Предназначено для студентов, обучающихся по дисциплине «Плазменные технологии в наноэлектронике» Введение Плазменные процессы в наноэлектронике Применение плазменных процессов в производстве современных ИС Технологические проблемы использо

Who reads Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"?

Author

Голишников А.А., Путря М.Г.

Publisher

МИЭТ

Published

2011

Language

RU

ISBN

9785725606560

Category

nonfiction

Subjects

Technology, Nanotechnology, Stem