Skip to content

Opening book details…

Can I read Physical Vapor Deposition of Thin Films on EtoBox?

Physical Vapor Deposition of Thin Films by Mahan J.E., is a nonfiction available to read on EtoBox.

What is Physical Vapor Deposition of Thin Films about?

Wiley, New York, 2000, 312 c. В книге сначала представлено введение о принципах и разрядных системах, используемых для плазменного осаждения пленок. Затем приведена кинетическая теория газов. Рассмотрены механизмы адсорбции и конденсации на поверхности. Дается краткий обзор о вакуумных системах, способах создания и контроля вакуума. Описаны источники, основанные на испарении, распылительные системы (RF, DC, магнетронные), а также механизмы, участвующие в процессе распыления. Завершает книгу глава об осаждении пленок.

Who reads Physical Vapor Deposition of Thin Films?

It is typically read by self-directed learners exploring a subject in depth.

Common subject areas: history, science, philosophy, social sciences.

Author
Mahan J.E.,
Language
EN
Category
nonfiction
Subjects
Science, Physics, Plasma Physics

More by Mahan J.E.,

Browse all works by Mahan J.E.,

Similar books