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生化MEMS器件 = Bio MEMS and chemical MEMS devices by 王晓浩,唐飞,杨兴,王哲垚著, 王晓浩.. [et al]著, 王晓浩[等, 王晓洁 is a book available to read on EtoBox.

1 (p1): 第1章 绪论 1 (p1-1): 1.1 MEMS的发展 2 (p1-2): 1.2 生化MEMS的发展 3 (p1-3): 1.3 我国生化MEMS的研究 4 (p1-4): 1.4 本书的主要内容 6 (p2): 第2章 微型泵和微型阀 6 (p2-1): 2.1 概述 6 (p2-1-1): 2.1.1 微型泵和微型阀的应用背景 7 (p2-1-2): 2.1.2 微型阀的研究概况 11 (p2-1-3): 2.1.3 微型泵的研究概况 14 (p2-2): 2.2 关键体硅工艺研究 14 (p2-2-1): 2.2.1 体硅各向异性腐蚀工艺 21 (p2-2-2): 2.2.2 牺牲层腐蚀技术 24 (p2-2-3): 2.2.3 深层重掺杂自停止腐蚀技术 30 (p2-2-4): 2.2.4 双面光刻技术 34 (p2-2-5): 2.2.5 凸角腐蚀补偿 36 (p2-3): 2.3 微型泵的工作机理 37 (p2-3-1): 2.3.1 弹性薄板变形分析 41 (p2-3-2): 2.3.2 压电致动 41 (p2-3-3): 2.3.3 双层压电梁致动分析 50 (p2-4): 2.4 其他致动方式 50 (p2-4-1): 2.4.1 热双金属致动 51 (p2-4-2): 2.4.2 静电致动 52 (p2-4-3): 2.4.3 电磁致动 53 (p2-5): 2.5 微型阀的过流特性分析 53 (p2-5-1): 2.5.1 引言 54 (p2-5-2): 2.5.2 沿程损失 55 (p2-5-3): 2.5.3 单晶硅微型阀的建模、仿真和测试 60 (p2-5-4): 2.5.4 聚酰亚胺微型阀的建模、仿真和测试 63 (p2-6): 2.6 微型机电系统的等效网络分析方法 63 (p2-6-1): 2.6.1 引言 66 (p2-6-2): 2.6.2 微型泵的等效电路网络模型 70 (p2-6-3): 2.6.3 压电致动微型泵的性能仿真 72 (p2-6-4): 2.6.4 压电致动微型泵的性能测试 75 (p2-7): 参考文献 80 (p3): 第3章 微型悬臂梁生化传感器 80 (p3-1): 3.1 微型悬臂梁传感器 80 (p3-1-1): 3.1.1 微型悬臂梁传感器的结构与敏感机理 84 (p3-1-2): 3.1.2 微型悬臂梁传感器的应用 87 (p3-2): 3.2 微型悬臂梁传感器的模型与设计 88 (p3-2-1): 3.2.1 基本理论 92 (p3-2-2): 3.2.2 连续层合薄板模型 111 (p3-2-3): 3.2.3 非连续层合薄板模型 125 (p3-3): 3.3 微型悬臂梁传感器的制造方法 125 (p3-3-1): 3.3.1 表面微加工技术 130 (p3-3

Author

王晓浩,唐飞,杨兴,王哲垚著, 王晓浩.. [et al]著, 王晓浩[等, 王晓洁

Publisher

北京:国防工业出版社

Published

2015

Language

ZH

ISBN

9787118102932