Skip to content

Opening book details…

About this scholarly article

International Electron Devices Meeting. Technical Digest - IC MEMS microtransducers by Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.; Schneider, M.; Buhler, J.; Schneeberger, N.; Jaeggi, D.; Malcovati, P.; Hornung, M.; Hiberli, A.; von Arx, M.; Mayer, E.; Funk, J. is a scholarly article available to read on EtoBox.

Author
Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.; Schneider, M.; Buhler, J.; Schneeberger, N.; Jaeggi, D.; Malcovati, P.; Hornung, M.; Hiberli, A.; von Arx, M.; Mayer, E.; Funk, J.
Publisher
IEEE
Published
1996

More by Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.; Schneider, M.; Buhler, J.; Schneeberger, N.; Jaeggi, D.; Malcovati, P.; Hornung, M.; Hiberli, A.; von Arx, M.; Mayer, E.; Funk, J.

Browse all works by Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.; Schneider, M.; Buhler, J.; Schneeberger, N.; Jaeggi, D.; Malcovati, P.; Hornung, M.; Hiberli, A.; von Arx, M.; Mayer, E.; Funk, J.