Can I read 硅微型惯性器件理论及应用 on EtoBox?

硅微型惯性器件理论及应用 by 王寿荣编著(东南大学仪器科学与工程学院) is a book available to read on EtoBox.

What is 硅微型惯性器件理论及应用 about?

书名 1 前言 2 目录 4 0 绪论 7 0.1 微机电系统与微型制造技术 7 0.2 硅微型惯性器件及微惯性测量组合 9 1 微型惯性器件的物理基础 12 1.1 硅材料的物理性能 12 1.1.1 微型惯性器件对材料的要求 12 1.1.2 硅的晶体结构 12 1.1.3 硅的导电性能 15 1.1.4 硅的机械性能 16 1.2 微型惯性器件的动力学基础 18 1.2.1 哥氏加速度和陀螺力矩 18 1.2.2 动量矩定理及刚体绕定点转动的欧拉动力学方程 22 1.2.3 常用坐标系及坐标系之间的转换 25 1.3 微机械元件的弹性理论基础 28 1.3.1 概述 28 1.3.2 柱形杆的自由扭转 30 1.3.3 薄板弯曲问题 32 2 硅微型加速度计 36 2.1 概述 36 2.2 原理结构 36 2.2.1 扭摆式硅微加速度计 36 2.2.2 悬臂梁式硅微加速度计 43 2.2.3 叉指式硅微型加速度计 45 2.2.4 隧道电流式硅微加速度计 49 2.3 误差分析及补偿 52 2.3.1 摆块的质心偏移引起的误差 52 2.3.2 挠性轴的初始自由角偏移引起的误差 53 2.3.3 非线性误差 54 2.3.4 温度误差及其他 55 2.4 硅微加速度计的测试与定标 56 2.4.1 概述 56 2.4.2 加速度计重力场试验 57 2.4.3 加速度计的其他试验 60 3 硅微型框架驱动式陀螺仪 62 3.1 结构组成和作用原理 62 3.1.1 外框驱动式 62 3.1.2 内框驱动式 63 3.2 运动方程 64 3.2.1 坐标系及坐标变换 64 3.2.2 角速度的表示 65 3.2.3 运动方程 66 3.3 误差分析 71 3.3.1 重心偏移产生的干扰力矩 71 3.3.2 非等弹性力矩引起的漂移误差 73 3.3.3 结构变形和工艺误差引起的干扰力矩 74 3.3.4 运动物体线速度和交叉轴向角速度引起的误差 75 3.3.5 温度引起的误差 75 3.3.6 检测电路噪声引起的测量误差 76 3.4 结构设计 76 3.4.1 挠性轴的设计 76 3.4.2 框架的设计 77 4 硅微型梳状驱动陀螺仪 81 4.1 音叉式振动陀螺仪 81 4.1.1 基本原理 81 4.1.2 运动方程 82 4.1.3 误差分析 83 4.2 静电梳状驱动谐振器 83 4.2.1 静电梳状驱动线振动式谐振器 84 4.2.2 静电梳状驱动角振动式谐振器 87 4.3 硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪 87 4.3.1 平板式梳状线振动驱动式陀螺仪 87 4.3.2 音叉式梳状线振动驱动式陀螺仪 90 4.4

Author

王寿荣编著(东南大学仪器科学与工程学院)

Publisher

南京:东南大学出版社

Published

2000

Language

ZH

ISBN

9787810506939