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硅微机械传感器技术 by 郑志霞著 is a book available to read on EtoBox.

What is 硅微机械传感器技术 about?

本书围绕硅微机械传感器的基本原理,工艺技术,应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论.主要内容有:微机械系统的发展历史,现状,应用领域及前景;硅的物理,化学,机械特性;微机械传感器的主要工艺技术和特殊工艺的研究;常见微机械传感器结构;硅微机械压力传感器,加速度传感器,角速度传感器,热流体传感器的基本原理,结构设计,工艺过程及应用等;常见传感器的接口电路;微机械传感器的封装技术及几种常见微传感器的封装.

Author

郑志霞著

Publisher

杭州:浙江大学出版社

Published

2012

Language

ZH

ISBN

9787308108799

Updated

2026-03-25