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等离子体放电与材料工艺原理 第2版 by 迈克尔·A.力伯曼(Michael A.Lieberman)著;蒲以康译, (美)Michael A. Lieberman, (美)Allan J. Lichtenberg著 , 蒲以康等译, 力伯曼, 里登伯格, 蒲以康, Boman Li, Dengboge Li, Yikang Pu, 力伯曼 (Lieberman, Michael A.) is a book available to read on EtoBox.

What is 等离子体放电与材料工艺原理 第2版 about?

1 (p1): 第1章 概述 1 (p1-1): 1.1材料处理 5 (p1-2): 1.2等离子体和鞘层 5 (p1-2-1): 1.2.1等离子体 9 (p1-2-2): 1.2.2鞘层 11 (p1-3): 1.3放电 11 (p1-3-1): 1.3.1射频二极放电系统 14 (p1-3-2): 1.3.2高密度等离子体源 16 (p1-4): 1.4符号和单位 18 (p2): 第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 18 (p2-1): 2.1引言 18 (p2-2): 2.2场方程、电流和电压 18 (p2-2-1): 2.2.1麦克斯韦方程组 21 (p2-3): 2.3守恒方程 21 (p2-3-1): 2.3.1玻尔兹曼方程 22 (p2-3-2): 2.3.2宏观量 23 (p2-3-3): 2.3.3粒子数守恒方程 23 (p2-3-4): 2.3.4动量守恒方程 25 (p2-3-5): 2.3.5能量守恒方程 25 (p2-3-6): 2.3.6小结 26 (p2-4): 2.4平衡态性质 27 (p2-4-1): 2.4.1玻尔兹曼关系式 28 (p2-4-2): 2.4.2德拜长度 29 (p2-4-3): 2.4.3准电中性 30 (p2-5): 2.5习题 32 (p3): 第3章 原子碰撞 32 (p3-1): 3.1基本概念 32 (p3-1-1): 3.1.1弹性和非弹性碰撞 32 (p3-1-2): 3.1.2碰撞参数 33 (p3-1-3): 3.1.3微分散射截面 35 (p3-2): 3.2碰撞动力学 35 (p3-2-1): 3.2.1质心坐标系 37 (p3-2-2): 3.2.2能量转移 38 (p3-2-3): 3.2.3小角度散射 39 (p3-3): 3.3弹性散射 39 (p3-3-1): 3.3.1库仑碰撞 41 (p3-3-2): 3.3.2极化散射 44 (p3-4): 3.4非弹性碰撞 44 (p3-4-1): 3.4.1原子能级 46 (p3-4-2): 3.4.2电偶极辐射和亚稳态原子 49 (p3-4-3): 3.4.3电子碰撞电离截面 50 (p3-4-4): 3.4.4电子碰撞激发截面 51 (p3-4-5): 3.4.5离子-原子电荷转移 54 (p3-4-6): 3.4.6离子-原子碰撞电离 54 (p3-5): 3.5分布函数下的平均值和表面效应 54 (p3-5-1): 3.5.1麦克斯韦分布下的平均值 56 (p3-5-2): 3.5.2每产生一个电子-离子对所造成的能量损失 57 (p3-5-3): 3.5.3表面效应 57 (p3-6): 3.6习题 60 (p4): 第4章 等离子体动力学 60 (p4-1): 4.1基本运动 60 (p4-1-1): 4.1.

Author
迈克尔·A.力伯曼(Michael A.Lieberman)著;蒲以康译, (美)Michael A. Lieberman, (美)Allan J. Lichtenberg著 , 蒲以康等译, 力伯曼, 里登伯格, 蒲以康, Boman Li, Dengboge Li, Yikang Pu, 力伯曼 (Lieberman, Michael A.)
Publisher
北京:电子工业出版社
Published
2018
Language
ZH
ISBN
9787121280221

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