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透明氧化物半导体 by 马洪磊,马瑾著 is a book available to read on EtoBox.

What is 透明氧化物半导体 about?

1 (p1): 绪论 5 (p2): 第1章 氧化物薄膜的制备技术 6 (p2-1): 1.1 真空蒸发技术 6 (p2-1-1): 1.1.1 金属和化合物蒸发 9 (p2-1-2): 1.1.2 蒸发源的加热装置 12 (p2-2): 1.2 MBE技术 14 (p2-3): 1.3 溅射技术 15 (p2-3-1): 1.3.1 双极直流反应溅射 16 (p2-3-2): 1.3.2 偏压溅射 18 (p2-3-3): 1.3.3 射频溅射 19 (p2-3-4): 1.3.4 磁控溅射 22 (p2-3-5): 1.3.5 离子束溅射 23 (p2-4): 1.4 离子镀技术 24 (p2-5): 1.5 CVD技术 25 (p2-5-1): 1.5.1 APCVD和LPCVD技术 26 (p2-5-2): 1.5.2 PECVD技术 27 (p2-5-3): 1.5.3 MOCVD技术 30 (p2-6): 1.6 溶液镀膜技术 30 (p2-6-1): 1.6.1 喷涂高温分解 31 (p2-6-2): 1.6.2 浸涂技术 31 (p2-6-3): 1.6.3 化学溶解生长 32 (p2-6-4): 1.6.4 sol-gel技术 33 (p2-7): 1.7 阳极氧化技术 33 (p2-7-1): 1.7.1 阳极氧化技术 34 (p2-7-2): 1.7.2 等离子体阳极氧化技术 36 (p2-8): 参考文献 41 (p3): 第2章 氧化物半导体基础 41 (p3-1): 2.1 金属氧化物晶体结构 41 (p3-1-1): 2.1.1 MO型金属氧化物的典型晶体结构 42 (p3-1-2): 2.1.2 MO2型金属氧化物晶体的典型晶体结构 43 (p3-1-3): 2.1.3 M2O3型金属氧化物的典型晶体结构 44 (p3-2): 2.2 金属氧化物的缺陷 44 (p3-2-1): 2.2.1 金属氧化物晶体缺陷类型 45 (p3-2-2): 2.2.2 金属氧化物晶体点缺陷理论基础 50 (p3-3): 2.3 金属氧化物半导体的电学性质 51 (p3-3-1): 2.3.1 金属氧化物半导体的电子结构 52 (p3-3-2): 2.3.2 金属氧化物半导体的载流子浓度 54 (p3-3-3): 2.3.3 金属氧化物半导体载流子输运散射机制 57 (p3-4): 2.4 氧化物半导体的磁学性质 58 (p3-4-1): 2.4.1 稀磁氧化物半导体的掺杂元素 60 (p3-4-2): 2.4.2 氧化物半导体的铁磁性起源 62 (p3-5): 2.5 透明氧化物半导体的光学性质 62 (p3-5-1): 2.5.1 透明氧化物半导体的光学常数 67 (p3-5-2): 2.5.2 Burstein-Moss移动 70 (p3-

Author

马洪磊,马瑾著

Publisher

北京:科学出版社

Published

2014

Language

ZH

ISBN

9787030416643