Opening book details…
About this Engineering article
Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии by Стефанович Г. Б.,Пергамент А. Л.,Величко А. А. is a Engineering article available to read on EtoBox.
It is typically read by researchers, students, and practitioners in Engineering.
- Author
- Стефанович Г. Б.,Пергамент А. Л.,Величко А. А.
- Publisher
- Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования ''Воронежский государственный технический университет''; Voronezh State Technical University (ISSN 1729-6501)
- Published
- 2009
- Language
- RU
- Field
- Engineering (Physical Sciences)
More by Стефанович Г. Б.,Пергамент А. Л.,Величко А. А.
Browse all works by Стефанович Г. Б.,Пергамент А. Л.,Величко А. А.